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山武推出全球最小、最輕氣體流量控制器 (2005-04-25)

發布時間:2007-12-04 作者: 來源: 瀏覽:1677
日本山武日前推出了可安裝在電子元件封裝設備等前面板上的氣體流量控制器“MPC”。能夠控制空氣、氮氣、氬氣、二氧化碳的氣體流量。尺寸為48×48×73.7mm,重量300g,全球最小、最輕。結合著小型輕量設計,開發出了電磁閥,能夠自動進行流量控制。可控制的流量共有4種,按氮氣(1個大氣壓20℃)換算分別為0.5、2.0、5.0和20.0L/分鐘。采用開放式價格,2005年度力爭實現1億日元(約合人民幣769萬元)、2007年度爭取實現10億日元(約合人民幣7690萬元)的銷售額。   過去,不同的氣體必須采用專用控制器。而MPC則可以切換使用4種氣體。流量最多可登記4種,最高能夠進行8位乘積運算。當流量超過設定值時,就會通過警報器進行報警。   配備了該公司開發的微處理器。將測定流量所需的傳感器和加熱器類元件進行了一體設計,傳感器本身能夠直接測量氣體流量。響應性為1ms,測量范圍為300:1。利用這種傳感器,可在不受壓力與溫度變化影響的情況下,以±2%FS的精度進行測量。最快只需1s即可按照設定值進行控制。   由于將管線連接部分和配線部分集中到了機身背面,因此便于在設備上進行安裝。可使用面板前面的按鍵進行設定。除此之外,作為用戶選配項還可配備模擬輸入輸出功能及RS-485通信功能,并能使用這些功能進行設定。假如使用另賣的軟件,既能對設定值進行管理,還能收集控制流量值的趨勢數據。
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