最近,日本住友精密工業公司和宇宙航空研究開發機構(JAXA:Japan Aerospace Exploration Agency)共同開發了用于國產火箭H2A的微機械(MEMS:Micro Electro Mechanical systems)式高精度陀螺儀。陀螺儀是用于監測火箭及衛星等航空、航天器航行位置的重要設備,新型微機械式陀螺儀通過微電子機械技術的應用,精度比原有的微機械式陀螺儀提高了一個數量級,達到了0.1??h。
目前,陀螺儀已廣泛應用于智能手機和數碼相機等民用電子產品。在航空、航天器上則至少需要安裝一臺陀螺儀,使用激光作為光源的光學式陀螺儀是現行的主流設備。但光學陀螺儀存在結構復雜、技術要求高、耗電量大、成本高等缺陷,而機械式陀螺儀由于精度較低,不滿足航空、航天器的需要。
日本住友精密工業公司對本公司精度最高的MEMS陀螺儀進行了改良,將溫度特性校正方式由模擬改為數字以提高校正精度,并改善了傳感頭的材料和結構。通過改進,陀螺儀的組成部件減少了一半,同時減輕了重量。之前在H2A火箭上搭載的光學式陀螺儀由玻璃和激光器件構成,新型微機械式產品在精度不變的情況下,價格是光學式陀螺儀的百分之一(約為幾十萬日元)。