近日，由中國計量科學研究院（以下簡稱“中國計量院”）申報新建的區域法表面與亞表面結構幾何參數基準裝置，已獲市場監管總局批準。

該裝置在國際上率先實現從二維“輪廓線”到三維“空間體”的維度提升，填補三維表面形貌計量的國內空白與亞表面結構計量能力國際空白。實現表界面結構空間立體成像，一次測量即可同時獲得表界面微觀形貌和結構信息。

同時，該基準裝置在三維形貌表征、微納量值溯源、核心功能器件與一體化系統集成等關鍵技術上全面實現國產化，為微納計量領域提供具有自主知識產權的中國方案。

應用于集成電路晶圓表面結構缺陷檢測

該基準裝置實現表界面微觀幾何形貌結構計量能力從“盲人摸象”輪廓法躍升至“三維全景”區域法的技術跨越，進而將傳統表面粗糙度參數迭代更新至區域法三維表面形貌參數。此外，開創亞表面結構計量體系，將測量維度從表面形貌拓展至表面下130μm范圍內的亞表面區域微觀幾何結構，不確定度達到U=4.8nm-1.17×10-2SSIMdx，使我國在表界面計量領域完成從跟跑到領跑的歷史性跨越。

應用于超精密光學元件亞表面缺陷檢測

超精密制造、原子級制造已成為當前和未來一段時間制造強國建設的重要發展方向。表界面結構幾何參數的準確評定直接關乎絕大多數制造業產品的質量安全、疲勞失效等全壽命周期問題。因此，國家表界面結構計量基準與計量體系的能力水平，成為我國由制造業大國向制造業強國邁進的決定性因素之一。該基準裝置的建立，將為集成電路、高端智能裝備、航空航天、遙感探測等精密制造業的高質量發展提供堅實的計量基礎，助力我國制造業實現更高水平的發展。（文/圖：皮磊  編輯：石亞楠）