近日，中國(guó)計(jì)量測(cè)試學(xué)會(huì)收到中國(guó)科協(xié)的感謝信，信中對(duì)學(xué)會(huì)在2020年重大科學(xué)技術(shù)問題和工程技術(shù)難題遴選推薦工作中，積極有效組織計(jì)量測(cè)試相關(guān)專家撰寫重大問題的政策建議表示衷心感謝！

2020年8月15日，中國(guó)科協(xié)在第二十二屆中國(guó)科協(xié)年會(huì)上，對(duì)外發(fā)布了20項(xiàng)2020年前沿重大科學(xué)問題和工程技術(shù)難題，其中，中國(guó)計(jì)量測(cè)試學(xué)會(huì)推薦的“如何解決集成電路制造工藝中缺陷在線檢測(cè)難題”位列其中。

作為中國(guó)科協(xié)所屬學(xué)會(huì)，今后，中國(guó)計(jì)量測(cè)試學(xué)會(huì)將一如既往與中國(guó)科協(xié)一道，深入貫徹習(xí)近平總書記關(guān)于科技創(chuàng)新的系列指示精神，發(fā)揮學(xué)會(huì)的資源優(yōu)勢(shì)、平臺(tái)優(yōu)勢(shì)和技術(shù)優(yōu)勢(shì)，提升學(xué)術(shù)引領(lǐng)能力，為推動(dòng)社會(huì)可持續(xù)發(fā)展、建設(shè)世界科技強(qiáng)國(guó)做出積極的貢獻(xiàn)。

“如何解決集成電路制造工藝中缺陷在線檢測(cè)難題”介紹

在上一代國(guó)家集成電路制造02專項(xiàng)中，缺陷在線檢測(cè)設(shè)備的研發(fā)投入相對(duì)較少，我國(guó)在該領(lǐng)域存在明顯短板，設(shè)備水平遠(yuǎn)落后于發(fā)達(dá)國(guó)家，因此，缺陷檢測(cè)設(shè)備是我國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈中最薄弱的環(huán)節(jié)之一，研發(fā)集成電路高靈敏度缺陷在線檢測(cè)技術(shù)與裝備迫在眉睫。

集成電路領(lǐng)域目前是國(guó)際科技競(jìng)爭(zhēng)的主戰(zhàn)場(chǎng)和大國(guó)博弈焦點(diǎn)。對(duì)于集成電路缺陷檢測(cè)技術(shù)及設(shè)備，一方面現(xiàn)有最先進(jìn)技術(shù)設(shè)備被少數(shù)幾個(gè)發(fā)達(dá)國(guó)家壟斷，對(duì)我國(guó)技術(shù)封鎖；另一方面，世界范圍內(nèi)7納米及以下節(jié)點(diǎn)的缺陷在線檢測(cè)技術(shù)仍未成熟，設(shè)備缺口仍然巨大，誰率先掌握了相應(yīng)關(guān)鍵技術(shù)，誰就掌握了未來主導(dǎo)權(quán)，這對(duì)我國(guó)來說既是機(jī)遇又是挑戰(zhàn)。因此，突破下一代節(jié)點(diǎn)集成電路制造缺陷在線檢測(cè)技術(shù)，不但可以打破以美國(guó)為首的技術(shù)封鎖，解決“卡脖子”問題，還將提升我國(guó)制造業(yè)整體水平，為交叉領(lǐng)域科技發(fā)展產(chǎn)生重大影響力和引領(lǐng)推動(dòng)作用，同時(shí)帶來巨大經(jīng)濟(jì)效應(yīng)和國(guó)際影響力，占領(lǐng)國(guó)際競(jìng)爭(zhēng)至高點(diǎn)。