近日，市場監(jiān)管總局發(fā)布新材料與納米領(lǐng)域4項計量技術(shù)規(guī)范，分別為《激光衍射法反射光柵校準規(guī)范》《錫膏厚度測量儀校準規(guī)范》《雷達散射截面法材料反射率測試系統(tǒng)校準規(guī)范》《煤中氟/氯測定儀校準規(guī)范》，將于2022年10月29日正式實施。

隨著微納科技與微納產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展，各類電子和光學顯微鏡在微納技術(shù)領(lǐng)域的保有量迅速增加。光柵間距樣板作為傳遞標準廣泛應用于掃描電子顯微鏡、掃描探針顯微鏡以及光學顯微鏡的放大倍率的校準，是各類顯微鏡測量準確性的保證。因此，作為傳遞標準的光柵間距樣板的量值必須以較小的不確定度溯源至SI單位。反射光柵間距的激光衍射測量技術(shù)是一種非成像的間接測量微納間距的技術(shù)，具有儀器設備結(jié)構(gòu)簡單、測量面積大、測量速度快、平均間距測量準確度高等優(yōu)點，加之測量成本低，在微納制造產(chǎn)業(yè)的在線、高速測量方面有巨大的應用潛力。《激光衍射法反射光柵校準規(guī)范》的發(fā)布與實施為用激光衍射法測量光柵間距提供了全面的、科學的、規(guī)范的法制依據(jù)和技術(shù)指導，為支持微納產(chǎn)業(yè)等相關(guān)技術(shù)領(lǐng)域發(fā)展也奠定技術(shù)基礎。

集成電路產(chǎn)業(yè)作為智能制造的主要領(lǐng)域，是引領(lǐng)新一輪科技革命和產(chǎn)業(yè)變革的關(guān)鍵力量。在集成電路生產(chǎn)制造過程中，集成電路板上錫膏的印刷質(zhì)量將直接影響芯片和電子元器件焊接的質(zhì)量，進而影響最終產(chǎn)品的性能。錫膏厚度測量儀是一種被廣泛用于檢測錫膏印刷質(zhì)量的儀器。它采用非接觸式的光學測量原理，能快速、無損地測量錫膏厚度、面積、體積等關(guān)鍵參數(shù)，對于判斷錫膏印刷質(zhì)量起到極其重要的作用。此前，由于缺乏相關(guān)的計量技術(shù)規(guī)范，錫膏厚度測量儀的可靠性和準確性只能依靠儀器生產(chǎn)廠家提供的維護服務，儀器量值無法得到有效溯源，因此急需制定統(tǒng)一的校準規(guī)范文件。在對國內(nèi)外主要錫膏厚度測量儀產(chǎn)品和國內(nèi)用戶實際使用情況進行廣泛調(diào)研的基礎上，通過深入研究儀器技術(shù)指標、校準方法以及計量標準器等關(guān)鍵技術(shù)問題，起草制定了《錫膏厚度測量儀校準規(guī)范》。本規(guī)范的發(fā)布和實施，將填補國內(nèi)錫膏厚度測量儀校準技術(shù)依據(jù)的空白，有利于實現(xiàn)錫膏厚度測量儀校準方法的統(tǒng)一和測量結(jié)果的溯源，保證集成電路板錫膏厚度量值的準確、一致和可靠。推動國內(nèi)集成電路相關(guān)生產(chǎn)企業(yè)提升產(chǎn)品質(zhì)量和技術(shù)能力，促進相關(guān)行業(yè)技術(shù)標準的統(tǒng)一，助力制造強國戰(zhàn)略的實施。

反射率是衡量微波低散射材料性能的重要指標，可以直觀地表達出材料對雷達信號的反射性能。通過反射率性能的考察，能實現(xiàn)材料的配比組成與結(jié)構(gòu)參數(shù)的進一步優(yōu)化。《雷達散射截面法材料反射率測試系統(tǒng)校準規(guī)范》的發(fā)布與實施，使雷達散射截面法材料反射率測試系統(tǒng)對于材料反射率的測試準確性有了溯源依據(jù)，對于保證微波低散射材料研制過程中的質(zhì)量可靠性有重要意義。

煤炭作為我國第一能源，年消耗量將約40億噸。氯和氟是煤中的有害元素，煤炭燃燒時，氯的危害主要表現(xiàn)在對鍋爐設備及管道的腐蝕和玷污堵塞。燃燒后，氟化物發(fā)生分解，以HF、SiF4等氣態(tài)污染物形式排入大氣，造成大氣氟污染和對生態(tài)環(huán)境的破壞，對人體、動植物健康帶來嚴重危害，給農(nóng)牧業(yè)造成經(jīng)濟損失。國家頒發(fā)《商品煤質(zhì)量管理辦法》《商品煤質(zhì)量評價與控制技術(shù)指南》等文件對煤中氟氯等有害元素限值做出明確規(guī)定，煤炭氯元素含量應不超過0.3%，氟元素含量應不超過200μg/g。《煤中氟/氯測定儀校準規(guī)范》的發(fā)布與實施為煤中氟氯測定儀提供了詳細的校準方法、解決儀器量值溯源難題。該技術(shù)規(guī)范有利于指導煤中氟氯測定儀的生產(chǎn)，提升儀器品質(zhì)、統(tǒng)一儀器計量性能的評價。為煤炭能源清潔利用提供技術(shù)支撐，為“藍天白云”環(huán)保事業(yè)貢獻計量力量。